Structure · dataset · 2026
Conjunto de dados para caracterização de Siliceto de Níquel-Platina para uso em tecnologia CMOS
Listed in REDU - Unicamp Institutional Research Data Repository
Este conjunto de dados reúne informações primárias obtidas a partir da fabricação e caracterização de filmes finos de siliceto de níquel-platina (NiPtSi) depositados sobre substratos de silício, no contexto de processos de micro e nanofabricação.
Description
Os dados abrangem diferentes condições experimentais, incluindo variações de espessura, composição, tratamentos térmicos e parâmetros de processo, organizadas em grupos experimentais sistemáticos.
As informações contemplam resultados de múltiplas técnicas de caracterização, como difração de raios X (XRD/GIXRD) para análise estrutural e identificação de fases, microscopia de força atômica (AFM) para avaliação morfológica e de rugosidade, microscopia eletrônica de varredura (SEM) para análise superficial, espectroscopia Raman para investigação de fases e tensões, além de medições elétricas (resistividade por quatro pontas).
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O conjunto foi estruturado para permitir a correlação entre parâmetros de processamento e propriedades estruturais, morfológicas e elétricas dos filmes, possibilitando análises comparativas, identificação de tendências de formação de fases e avaliação de desempenho dos silicetos formados. Esses dados são adequados para estudos em engenharia de materiais e dispositivos semicondutores, contribuindo para a compreensão dos mecanismos de formação de silicetos, otimização de processos térmicos e desenvolvimento de contatos metálicos avançados para tecnologias CMOS.
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Topics
- Stated by source
- Engineering · Physics
- From keywords
- Engineering · Materials Science · Microtechnology · Physics
Provenance · 1 source records, 12 field assertions
| Source | Key | Last seen | Raw |
|---|---|---|---|
| REDU - Unicamp Institutional Research Data Repository | doi:10.25824/redu/NU3C6R | 4 d ago | JSON v1 |
| Field | Assertion | Extractor | Evidence |
|---|---|---|---|
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